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低释气库板

鉴于国内半导体不断往纳米微小化发展，洁净车间对环境中气态分子污染的要求不断提高，低释气材料的适当替代遂成为建厂过程中的重要工程关键考虑。 为能更有效掌握质量与交货期...

芯片生产微环境（mini environment）设施

微环境（mini environment）被广泛掺杂8以下芯片生产环境防护辅助。 公司于2004年从微环境专业厂商ASYST授权所有图面与技术，开始生产芯片生产专用微环境。并于2006年尝试将CFD（计算流体...

洗涤式加湿系统

LK开发的洗涤式加湿系统包含扇形Air washer系统和高雾化洗涤式加湿（Air Washer）系统两种形式。 透过特殊设计的喷嘴形式，在低操作压力（约3kg/cm2），即拥有约200m以及极细的78m的水雾效...

DCFU (Ducted Chemical Filter Unit) 系统

所谓的DCFU系统，意指将化学过滤器结合于一个具有风机的单元，并直接连接于风管末端，故名为风管式化学过滤单元。 此系统最大的特点，就是节约客户的运转电费及化学过滤器的更换...